了,“你年纪小,你先说。”
“那好,我不客气了!”王院士笑眯眯的将复印件递了过去。
孙院士翻看着复印件,一开始还非常不屑一顾。
1nmX射线光刻机光源技术?
开什么玩笑!
X射线虽然波长比EUV极紫外线更短,精度更高。
但不稳定性和不连续性却是个天大的麻烦。
有攻克这个难题的功夫,本国早就把光刻机的技术精度推到10nm了。
“拓子晶体激发的量子限域高次谐波X射线扑光子晶体激发的量子限域高次谐波X射线光源,基于量子点超晶格与自聚焦等离子体通道的1nm波段相干光源!
“采用飞秒激光(脉宽5fs,峰值功率10PW)轰击氖/氪混合气体靶,诱导多体量子隧穿效应,产生高亮度宽谱X射线(0.5-2nm)。
“通过自旋轨道耦合调制,使等离子体形成周期性涡旋结构,提升高次谐波转化效率至~5×10????(传统HHG的50倍.......”
看着看着,孙院士脸上的不屑瞬间凝固,只感觉头皮发麻,手上拿着的咖啡杯顿时落在地上,摔碎。
卧槽!
这是哪个妖孽设计的光源系统?
太精妙了!
有些地方简直让他茅塞顿开,灵感迸发,差点就要当场来个‘龙场悟道’。
不过,自己的那些灵感与人家这份技术上的思路,还是差太远了。
看完后,孙院士有些意犹未尽,
“按照上面的流程和方案,完全可行,足以解决X射线光源的不稳定性和不持续性的毛病。”
“理论上,X射线的分辨率小于等于0.1nm,套刻精度小于等于0.3nm。工业级芯片量产精度至少0.4nm!”
“哪怕我国的物镜工艺再差劲,计算上光精度损耗,工业级芯片的精度可以实现1nm!完全不需要什么高精尖光学透镜。
“甚至还能反过来倒逼光学透镜产业,让蔡司、尼康统统滚出光刻市场!”
“老王,这是美国哪位天才设计的光源系统?到光学元件表面镀制单层二硫化钼/石墨烯异质结,利用热电子超扩散效应后,怎么没有下文了?”
在孙院士眼里,只有美国的天才才能设计出如此巧妙且牛逼的光源系统。
至于国内的天才,他倒不是崇洋媚外,而是真不行。
这和科研环境有非常大的关系。
王院士摇了摇头:
“国内一个医学院士写的东西,正主还在