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以尝试进行试产!”
吴新屹苦笑着说道,“实际上,今年以来,光刻机研发团队那边,很大一部分时间,都在研发各种配套零部件、材料等,这些零部件跟材料,很多在国外都无法采购到,或者采购到的不合格,只能靠自己研发,尤其是进行改进!
尤其是,激光系统、物镜系统、工作台、掩膜版、光刻胶、镜头等……”
(本章完)